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技術介紹：

光學零部件的鍍膜是光學產品中一個重要的工藝，其可以大大提高光學零部件的性能，不僅可以提升各類光學儀器的精度，並且幫助91看片在线免费下载獲得更加優異的產品。因此針對鍍膜工藝的要求也越來越高，其中膜厚的精確控製是非常重要的一個環節。

目前常用的膜厚控製方法有多種，例如石英晶體振蕩法，單波長極值法，寬在线看片网站污污掃描法等方法。寬在线看片网站污污掃描法可以提供在較寬波長範圍內監控非規整膜係，而極值法一般要求膜層為規整膜層。因此寬在线看片网站污污掃描方法，開始逐漸應用到膜厚控製的應用當中。

產品應用：

寬在线看片网站污污膜厚控製可以采用垂直光路進行透射式或者傾斜光路進行反射式的光學膜厚監控。

反射式：

圖1：反射式寬帶膜厚測試簡圖

鍍膜時，因為真空腔內部是一個明亮環境，接收信號光時會把雜散光也同時測量，從而降低信噪比。因此為了消除雜散光的影響，科學家們引入斬波器，將信號光進行調製，同時斬波器輸出同步信號觸發後端的探測器，從而獲得兩次信號，1，信號光+雜散光，2，僅雜散光。因此在監控過程中，可以通過兩次信號的相減，有效的去除雜散光。

在接收信號部分為光纖接口的光柵在线看片网站污污儀，在线看片网站污污儀出口接有CCD相機，可以在短時間內拍攝較寬譜線範圍（幾十至幾百納米範圍）。

透射式：

圖2：透射式寬帶膜厚測試簡圖

與反射式類似，斬波器同樣將探測光調製成脈衝光，經透鏡組將探測光變為平行光，經待測樣片後獲得類似透射譜的測試。最終探測光由光纖引入到在线看片网站污污儀進行分析。在光路中另一端，經過成像係統，用監控相機可以對真空腔內部進行監控。

在线看片网站污污儀部分可以用CCD寬帶采集，也可以用PMT進行掃描。兩者各有優勢，CCD可以快速采集寬帶譜線，PMT因為靈敏度更高，可以獲得更微弱的信號變化。

近年來，隨著工藝的要求，科學家也開始關注近紅外區域的膜厚測量。

圖3：近紅區域膜厚監控簡圖

上圖中科學家使用卓立配套銦镓砷近紅外探測器加Omni-λ300i作為前麵所說的在线看片网站污污儀係統。用Labview軟件組合成實時監控膜厚控製係統。

91看片在线免费下载提供在线看片网站污污采集係統，有PMT（可見波段範圍檢測），InGaAs（近紅波段範圍探測）

圖4：卓立在线看片网站污污儀，PMT及InGaAs探測器

有CCD為探測器的在线看片网站污污儀Omni-λ3008i-iVacN

圖5：卓立Omni-λ3008i-iVacN 與 進口深度製冷CCD 融合

表1：Omni-λ3008i-iVacN主要技術參數

引用文獻：

1， Liang Shaolin, Wang Yongmei, Mao Jinghua, Jia Nan, Shi Entao,Infrared and Laser Engineering, 0417004, 48（2019）

2， EMVA Standard 1288,Standard for Characterization of Image Sensors and Cameras，2021

3， Wang Shushu, Ping Yiding, Men Jinrui, Zhang Chen, Zhao Changyin，Proc. SPIE 11525, SPIE Future Sensing Technologies, 115252I (2020)