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| 型 號 | TSAW100×100-XY-（A） |
| 行程範圍（X軸*Y軸）（mm） | 100x 100 |
| 螺杆導程（mm） | 4 |
| 重複定位精度（μm） | ＜5； （-A＜3） |
| 8細分下分辨率（μm） | 1.25 |
| 步進電機（步距角） | 42B（0.9°） |
| 額定工作電流（A） | 1.7 |
| 大負載（kg） | 20 |
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